การควบคุมฝุ่นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

การกำจัดฝุ่นถาดเวเฟอร์

ถาดเวเฟอร์เป็นอุปกรณ์กลไกที่ติดตั้งในโมดูลส่วนหน้าซึ่งมีหน้าที่รับกล่องเวเฟอร์ที่จัดส่งโดยอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์ โดยทั่วไปจะใช้ร่วมกับพอร์ตโหลดเป็นพอร์ตโต้ตอบระหว่างอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และสายการผลิต

ในเวิร์กช็อปการผลิต FOUP จะถูกวางไว้ที่พอร์ตการบรรทุก เนื่องจากข้อกำหนดด้านคุณภาพอากาศในระดับสูง (ISO ระดับ 5) ห้องสะอาดและระบบกระบวนการจึงต้องได้รับการทำความสะอาดอย่างสม่ำเสมอ จุดประสงค์คือเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนข้ามบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน และกำจัดข้อบกพร่องบนชิปในที่สุด

โซลูชั่น

เนื่องจากกระบวนการผลิตของเวเฟอร์ต่างๆ มีความซับซ้อนและซับซ้อนมาก ระดับการกำจัดฝุ่นของแต่ละกระบวนการจึงสูงมาก อุปกรณ์กำจัดฝุ่นควรมีลักษณะไม่สัมผัส ทำความสะอาดได้เร็ว กำจัดสิ่งแปลกปลอมได้รวดเร็ว และติดตั้งง่าย